T.Shibata, E.Makino: "Diamond-based Microelectro-mechanical Systems (MEMS)(in Japanese)"J Jpn. Soc. Abrasive Technol.. 46,6. 286-289 (2002)
T.Shibata, E.Makino: "Diamond-based Microelectro-mechanical Systems (MEMS)(in Japanese)"J Jpn. Soc. Abrasive Technol.. 46,6. 286-289 (2002)
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T.Shibata、E.Makino：“基于金刚石的微机电系统 (MEMS)（日语）”J Jpn。
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