GaN高温HVPE成長のための熱力学解析モデルの修正
GaN高温HVPE成長のための熱力学解析モデルの修正
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GaN高温HVPE生长热力学分析模型的修改
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
熊谷 義直
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松岡 聖;坂東 もも子;大西 一生;後藤 健;新田 州吾;村上 尚;熊谷 義直
