表面活性化のためのAr原子線照射がSi/GaAs接合界面の構造に及ぼす影響
表面活性化のためのAr原子線照射がSi/GaAs接合界面の構造に及ぼす影響
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Ar原子束辐照表面活化对Si/GaAs键界面结构的影响
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大野裕
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大野裕;梁剣波;吉田秀人;清水康雄;永井康介;重川直輝;大野裕;大野裕
