Influence of the surface conductivity of a polymer film on the attractive force of a bipolar electrostatic chuck
Influence of the surface conductivity of a polymer film on the attractive force of a bipolar electrostatic chuck
复制标题
聚合物薄膜表面电导率对双极静电吸盘吸引力的影响
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Shigeki Saito.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Jeremy Gavriel;Yuki Taoka;Shigeki Saito.
