SMART (Seed Manipulation for ARtificiallycontrolled defects Technique)法による新規モノライクシリコンの結晶成長
SMART (Seed Manipulation for ARtificiallycontrolled defects Technique)法による新規モノライクシリコンの結晶成長
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使用 SMART（人工控制缺陷种子操作技术）方法生长新型单晶硅晶体
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宇佐美徳隆
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高橋勲;岩田大将;宇佐美徳隆
