Room-temperature Atomic Layer Depsition of Al2O3 for Anticorrosion Coatings Using Trimethylaluminum and Remote-plasma Excited Water Vapor
Room-temperature Atomic Layer Depsition of Al2O3 for Anticorrosion Coatings Using Trimethylaluminum and Remote-plasma Excited Water Vapor
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三甲基铝和远程等离子体激发水蒸气室温原子层沉积 Al2O3 防腐涂料
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
F. Hirose
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Kanomata;P. Pansila;H. Ohba;B. Ahmmad;S. Kubota;K. Hirahara;F. Hirose
