Properties of Boron Carbon Nitride(BCN)mm after plasma ashing.
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等离子灰化后碳氮化硼（BCN）mm 的性能。
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Sugino.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. K. Mazumder;H. Aoki;T. Masuzumi;M. Hara;N. Ooi;D. Watanabe;C. Kimura;M. Fukagawa;M. Umeda;M. Kusuhara;T. Sugino.
