Vibration Mode Analysis of MEMS Bucked Diaphragm Structures for Highly Sensitive Piezoelectric Ultrasonic Sensors
Vibration Mode Analysis of MEMS Bucked Diaphragm Structures for Highly Sensitive Piezoelectric Ultrasonic Sensors
复制标题
高灵敏度压电超声波传感器 MEMS 降压膜片结构的振动模式分析
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山下馨
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Ota;M. Fukuda;山下馨
