G. Wang, T. Ogawa, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno: "Passivation of dislocations in GaAs grown on Si substrates by phosphine (PH_3) plasma exposure"Appl. Phys. Lett.. 78. 3463 (2001)
G. Wang, T. Ogawa, T. Soga, T. Jimbo and M. Umeno: "Passivation of dislocations in GaAs grown on Si substrates by phosphine (PH_3) plasma exposure"Appl. Phys. Lett.. 78. 3463 (2001)
复制标题
G. Wang、T. Okawa、T. Soga、T. Jimbo 和 M. Umeno：“通过磷化氢 (PH_3) 等离子体暴露在 Si 衬底上生长的 GaAs 中位错的钝化”Appl。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
