斜入射スパッタリング法により作製した SnO2 薄膜のガスセンシング特性
斜入射スパッタリング法により作製した SnO2 薄膜のガスセンシング特性
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斜入射溅射法制备SnO2薄膜的气敏特性
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
亀田 悠真，井上 泰志，高井 治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Keita Miyasaka;Yasushi Inoue and Osamu Takai;冨永 侑歩;高橋昂暉，宮崎秀俊，木村耕治，西野洋一，林 好一;古賀詩悠，赤嶺大志，板倉 賢，西田 稔，古澤皐平，小池邦博，加藤宏朗;亀田 悠真，井上 泰志，高井 治
