低温・低ダメージプラズプロセスの開発に向けたプラズマ・ポリマー相互作用のナノ表面解析
低温・低ダメージプラズプロセスの開発に向けたプラズマ・ポリマー相互作用のナノ表面解析
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等离子体-聚合物相互作用的纳米表面分析，用于开发低温、低损伤等离子体工艺
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
趙研
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Ogura;Y.Saito;K.Ueda;A.Hirose,;山田基宏;趙研
