表面増強ラマン分光法による水酸化フラーレンを用いたCu-CMPの化学反応プロセス解析―表面増強ラマン分光装置の検証―
表面増強ラマン分光法による水酸化フラーレンを用いたCu-CMPの化学反応プロセス解析―表面増強ラマン分光装置の検証―
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使用表面增强拉曼光谱分析使用氢氧化富勒烯的 Cu-CMP 化学反应过程 - 表面增强拉曼光谱仪的验证 -
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
旭真史，高谷裕浩，水谷康弘
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masafumi ASAHI;Yasuhiro TAKAYA;Masaki MICHIHATA;旭真史，高谷裕浩，水谷康弘
