Characterization of Diamond-Like Carbon Films Fabricated by RF Plasma CVD from CO Source Gas
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复制标题
CO 源气体射频等离子体 CVD 制备类金刚石碳薄膜的表征
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yuki Yasuoka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Toru Harigai;et. al.;針谷達;Toru Harigai;Yuki Yasuoka
