I.Oya: "Generation of ECR Plasma Using Permanent Magnats for Diamond Deposition" Proc.3rd Int.Conf.Reactive Plasma and 14th Symp.Plasma Processing. 381-382 (1997)
I.Oya: "Generation of ECR Plasma Using Permanent Magnats for Diamond Deposition" Proc.3rd Int.Conf.Reactive Plasma and 14th Symp.Plasma Processing. 381-382 (1997)
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I.Oya：“使用永久磁铁生成 ECR 等离子体进行金刚石沉积”Proc.3rd Int.Conf.Reactive Plasma 和 14th Symp.Plasma Process。
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