テクスチャガラス基板上EB蒸着非晶質Si膜のFLAでの結晶化における製膜時の基板温度の影響
テクスチャガラス基板上EB蒸着非晶質Si膜のFLAでの結晶化における製膜時の基板温度の影響
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成膜过程中衬底温度对毛化玻璃衬底上 EB 沉积非晶硅薄膜 FLA 结晶的影响
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大平 圭介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
倉田 啓佑;大平 圭介
