低エネルギーイオン注入によるボロン極浅接合層のTEM観察
低エネルギーイオン注入によるボロン極浅接合層のTEM観察
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低能离子注入超浅硼结层的TEM观察
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
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通讯作者：
山本和弘
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山本和弘
