Production of 10 GHz micro ECR plasma and its diagnostics
Production of 10 GHz micro ECR plasma and its diagnostics
复制标题
10 GHz 微型 ECR 等离子体的生产及其诊断
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A. Kono
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Kawamura;T. Kuroki;M. Aramaki;A. Kono
