NiSi相の形成とCuコンタクトへの適用
NiSi相の形成とCuコンタクトへの適用
复制标题
NiSi相的形成及其在Cu触点中的应用
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
野矢
中科院分区：
文献类型：
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作者：
武山;佐藤;野矢
