Y.Matsumoto K.Yoshida M.Ishida: "Fuorocarbon film for passivation from alkaline etchant and elimination of in-use stiction." The 9th Int.Conf.on Solid-State Sensors and Actators (transducers'97). (発表予定). (1997)
Y.Matsumoto K.Yoshida M.Ishida: "Fuorocarbon film for passivation from alkaline etchant and elimination of in-use stiction." The 9th Int.Conf.on Solid-State Sensors and Actators (transducers'97). (発表予定). (1997)
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Y.Matsumoto K.Yoshida M.Ishida：“用于碱性蚀刻剂钝化和消除使用中静摩擦力的氟碳薄膜。”第九届固态传感器和执行器国际会议（传感器97）。 ）（1997）
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