Vibration Analysis and Transmission Characteristics Of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers Using Epitaxial Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films on γ-Al2O3/Si Substrate
Vibration Analysis and Transmission Characteristics Of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers Using Epitaxial Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films on γ-Al2O3/Si Substrate
复制标题
γ-Al2O3/Si 基片上外延 Pb(Zr, Ti)O3 薄膜压电微机械超声换能器的振动分析和传输特性
DOI：
10.1143/jjap.51.11pa04
复制
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
K. Suzuki,N. Nagaya and M. Ishida
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
D. Akai;K. Ozaki;Y. Numata;K. Suzuki,N. Nagaya and M. Ishida
