Data science framework for variable selection, metrology prediction, and process control in TFT-LCD manufacturing
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DOI：
10.1016/j.rcim.2018.07.013
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发表时间：
2019-02
影响因子：
10.4
通讯作者：
Chia-Yen Lee;Tsung-Lun Tsai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Chia-Yen Lee;Tsung-Lun Tsai
