ミスト CVD 法による炭化モリブデン薄膜の成膜と評価
ミスト CVD 法による炭化モリブデン薄膜の成膜と評価
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雾气CVD法碳化钼薄膜的沉积与评价
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
平藤哲司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉田拓司;上野仁希;池之上卓己;三宅正男;平藤哲司
