硅掺杂金刚石薄膜形成过程的研究
硅掺杂金刚石薄膜形成过程的研究
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DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
乔海懋
中科院分区：
文献类型：
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作者：
刘学杰;乔海懋
