InAlAs選択酸化によるIII-V MOS界面構造の形成

InAlAs選択酸化によるIII-V MOS界面構造の形成
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InAlAs选择性氧化形成III-V MOS界面结构

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
高木信一
高木信一
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
中川翔太;横山正史;市川磨;秦雅彦;田中雅明;竹中充;高木信一

文献摘要

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