Nanolaminated Alumina Coatings Deposited by Metal–Organic Chemical Vapor Deposition
Nanolaminated Alumina Coatings Deposited by Metal–Organic Chemical Vapor Deposition
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金属有机化学气相沉积纳米层压氧化铝涂层
DOI：
10.1111/j.1551-2916.2010.03917.x
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发表时间：
2010
影响因子：
3.9
通讯作者：
C.-P. Klages
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
N. K. Eils;P. Mechnich;M. Schmücker;H. Keune;G. Wahl;C.-P. Klages
氧化铝（Al 2 O3）涂层通过金属有机化学气相沉积在950°C的衬底温度下使用两种不同的前体蒸发系统制造。用于前体输送的螺杆进料系统的应用导致形成具有纳米层微观结构的涂层，而直接从坩埚蒸发的前体产生没有特定微观结构的涂层。X射线衍射测量表明，这两种类型的涂层由过渡Al 2 O3组成。通过透射电子显微镜对层状结构涂层的仔细研究表明，层状结构是纳米孔隙率和晶粒尺寸周期性波动的结果。退火实验表明，层状组织在高温下是稳定的。即使涂层在1200°C下热处理后完全转变为α-Al 2 O3，并且纳米孔合并为更大的孔，但仍保持了贯穿厚度的层状涂层形态。
Alumina (Al2O3)‐coatings were fabricated by a metal–organic chemical vapor deposition at a substrate temperature of 950°C using two different precursor evaporation systems. The application of a screw feeding system for precursor delivery leads to the formation of coatings with a nanolamellar microstructure while precursor evaporation directly from a crucible produces coatings without a specific microstructure. X‐ray diffraction measurements show that both kinds of coatings consist of transitional Al2O3. Closer investigations of the lamellar structured coating by means of transmission electron microscopy reveal that the lamellae result from periodical fluctuations of nanoporosity and grain size. Annealing experiments show that the laminated microstructure is stable at high temperatures. Even though the coatings transform completely into α‐Al2O3after heat treatment at 1200°C and nanopores coalesce to larger pores, a through‐thickness lamellar coating morphology is maintained.
化学气相沉积 κ-氧化铝中的相变
DOI：
--
发表时间：
1992
期刊：
影响因子：
--
作者：
S. Vuorinen;L. Karlsson
通讯作者：
L. Karlsson
CVD a-Al2O3/?-Al2O3 多层涂层的微观结构研究
DOI：
--
发表时间：
1993
期刊：
影响因子：
--
作者：
M. Halvarsson;Harry V. Norden;S. Vuorinen
通讯作者：
S. Vuorinen
通过溅射沉积复合材料和纳米层压陶瓷涂层
DOI：
--
发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
--
作者：
V. Teixeira;A. Monteiro;J. Duarte;A. Portinha
通讯作者：
A. Portinha