XRR Analysis on Multi-Layer Structure of DLC Film on Si Substrate by Single Pulse RF PIasma CVD
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单脉冲射频等离子体 CVD 法对硅基片上 DLC 薄膜多层结构的 XRR 分析
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Toru Harigai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Toru Harigai;et. al.;針谷達;Toru Harigai
