ナノネットワーク構造解析に基づく微細トレンチ内の窒化ホウ素膜特性予測

ナノネットワーク構造解析に基づく微細トレンチ内の窒化ホウ素膜特性予測
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基于纳米网络结构分析的微沟槽氮化硼薄膜特性预测

DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
濱野誉，松田崇行，朝本雄也，野間正男，長谷川繁彦，山下満，占部継一郎，江利口浩二
濱野誉，松田崇行，朝本雄也，野間正男，長谷川繁彦，山下満，占部継一郎，江利口浩二
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Aida Hideo;Oshima Ryuji;Minamigata Hiroki;Kawaguchi Shogo;Tokutake Junpei;Sifuentes Juan Manuel Del Angel;Kimura Yutaka;濱野誉，松田崇行，朝本雄也，野間正男，長谷川繁彦，山下満，占部継一郎，江利口浩二

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