H. Toyoda, H. Sugai et. all: "Reaction Processes on Silicon Surface Irradiated by Fluorocarbon Ion Beams"Proceedings of Dry Process Symposium. 211-216 (2000)
H. Toyoda, H. Sugai et. all: "Reaction Processes on Silicon Surface Irradiated by Fluorocarbon Ion Beams"Proceedings of Dry Process Symposium. 211-216 (2000)
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H.丰田，H.菅井等。
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