熱インプリント用金型材料としてのNi-W膜の組成・結晶構造に関する研究
熱インプリント用金型材料としてのNi-W膜の組成・結晶構造に関する研究
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热压印模具材料Ni-W薄膜的成分与晶体结构研究
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
安井 学，金子 智，黒内 正仁，小沢 武，伊藤 寛明，荒井 政大
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Manabu Yasui;Masahito Kurouchi;Hiroaki Ito;Takeshi Ozawa and Msahiro Arai;安井 学，金子 智，黒内 正仁，小沢 武，伊藤 寛明，荒井 政大
