Tohru HARA: "Titanum Nitride Barrier Metal for Al/TiN/Si Ohmic Contact Systems" Proc.of 8th Symp.Ion Beam Technology in Hosei University. 8. 108-113 (1989)
Tohru HARA: "Titanum Nitride Barrier Metal for Al/TiN/Si Ohmic Contact Systems" Proc.of 8th Symp.Ion Beam Technology in Hosei University. 8. 108-113 (1989)
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Tohru HARA：“用于 Al/TiN/Si 欧姆接触系统的氮化钛势垒金属”Proc.of 8th Symp.Ion Beam Technology in Hosei University。
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