短パルスHiPIMSによる金属イオン生成
短パルスHiPIMSによる金属イオン生成
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通过短脉冲 HiPIMS 生成金属离子
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高木浩一,田頭博倫,小西 匠,高橋克幸,向川政治,行村 建
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Motogaito;M. Kito;H. Miyake and K. Hiramatsu;高木浩一,田頭博倫,小西 匠,高橋克幸,向川政治,行村 建
