Pitch-variable Subwavelength Gratings Driven by Comb Actuators

Pitch-variable Subwavelength Gratings Driven by Comb Actuators
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由梳状致动器驱动的可变节距亚波长光栅

DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Proceedings of International Conference on Optical MEMS and Their Applications
影响因子：
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通讯作者：
T.Kobayashi
T.Kobayashi
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
M.Nakamura;M.Ito;T.Kobayashi

文献摘要

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