K. Kato: "Ion and electron energy Control in an RF Silane plasma." The 3rd Inter. Conf. on Reactive Plasmas. 413-414 (1997)
K. Kato: "Ion and electron energy Control in an RF Silane plasma." The 3rd Inter. Conf. on Reactive Plasmas. 413-414 (1997)
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K. Kato：“射频硅烷等离子体中的离子和电子能量控制。”
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