Study on Deep X-ray lithography for Fabrication of Microactuator

Study on Deep X-ray lithography for Fabrication of Microactuator
复制标题

微执行器深X射线光刻技术研究

DOI：
--
复制
发表时间：
2008
期刊：
MEMOIRS OF THE SR CENTER, RITSUMEIKAN UNIVERSITY 10
影响因子：
--
通讯作者：
J. G. Korvink
J. G. Korvink
中科院分区：
--
文献类型：
--
作者：
M. Horade;S. Kajita;S. khumpuang;S. Sugiyama;S. Schonhardt;U. Wallrabe;J. G. Korvink

文献摘要

相似文献