Metal-Insulator-Metalメタマテリアル構造を応用したナノギャップ計測に向けたSpin-on-Glass膜封止型ナノドットアレイの作製
Metal-Insulator-Metalメタマテリアル構造を応用したナノギャップ計測に向けたSpin-on-Glass膜封止型ナノドットアレイの作製
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使用金属-绝缘体-金属超材料结构制造用于纳米间隙测量的旋涂玻璃薄膜密封纳米点阵列
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
金森 義明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
岡谷 泰佑;金森 義明
