固定砥粒を用いた4H-SiC (0001)表面の電気化学機械研磨
固定砥粒を用いた4H-SiC (0001)表面の電気化学機械研磨
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使用固定磨粒对 4H-SiC (0001) 表面进行电化学机械抛光
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山村和也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
楊旭;川合健太郎;有馬健太;山村和也
