低濃度アルカリ水溶液によるシリコン異方性ウエット エッチング加工特性
低濃度アルカリ水溶液によるシリコン異方性ウエット エッチング加工特性
复制标题
使用低浓度碱性水溶液的硅各向异性湿法蚀刻加工特性
DOI：
--
复制
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
田中 浩，齋藤祐樹，佐藤一雄
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Yuhei Motoki;Ryo Inoue;Hiroshi Tanigawa;Tomoki Nishino;Takashi Furutsuka;and Kenichiro Suzuki;田中 浩，齋藤祐樹，佐藤一雄
