RFマグネトロンスパッタ法によるPb(Zr,Ti)O3薄膜の多層積層とその評価
RFマグネトロンスパッタ法によるPb(Zr,Ti)O3薄膜の多層積層とその評価
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射频磁控溅射多层堆叠Pb(Zr,Ti)O3薄膜及其评价
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐野良，井上純一，神田健介，藤田孝之，前中一介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐々木 駿昂;稲葉 毅;佐野良，井上純一，神田健介，藤田孝之，前中一介
