アモルファス炭素薄膜の光誘起変形に及ぼす窒素添加効果
アモルファス炭素薄膜の光誘起変形に及ぼす窒素添加効果
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氮添加对非晶碳薄膜光致变形的影响
DOI:
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发表时间:
2020
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
青野祐美
中科院分区:
文献类型:
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作者:
下野眞裕;佐藤庸平;寺内正己;青野祐美;青野祐美