Material and Device Reliability in Si MEMS Sensors
Material and Device Reliability in Si MEMS Sensors
复制标题
Si MEMS 传感器的材料和器件可靠性
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Toshiyuki Tsuchiya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小北雄亮;谷山彰;平井義和;田畑修;土屋智由;Toshiyuki Tsuchiya
