62-1: Large-Area Ion Implantation Source for Production of Anti-Reflection Surfaces in Glass and Sapphire Substrates
62-1: Large-Area Ion Implantation Source for Production of Anti-Reflection Surfaces in Glass and Sapphire Substrates
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62-1：用于玻璃和蓝宝石衬底减反射表面生产的大面积离子注入源
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Alexander Welsh, Robert Weiss
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Alexander Welsh, Robert Weiss
