SiO_2膜上Hfナノ粒子への窒素プラズマ照射によるHfSiON膜作製
SiO_2膜上Hfナノ粒子への窒素プラズマ照射によるHfSiON膜作製
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SiO_2薄膜上Hf纳米粒子氮等离子体辐照制备HfSiON薄膜
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
北嶋武
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Ichikawa;S.Nozawa;T.Sato;A.Tomita;K.Ichiyanagi;M.Chollet;L.Guerin;N.Dean;A.Cavalleri;S.Adachi;T.Arima;H.Sawa;Y.Ogimoto;M.Nakamura;R.Tamaki;K.Miyano;S.Koshihara;北嶋武;Masao Nakamura;北嶋武
