高濃度Pイオン注入による金属/SiC非合金化界面におけるコンタクト抵抗低減
高濃度Pイオン注入による金属/SiC非合金化界面におけるコンタクト抵抗低減
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高浓度 P 离子注入降低金属/SiC 非合金界面接触电阻
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
木本 恒暢
中科院分区：
文献类型：
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作者：
原 征大;金子 光顕;木本 恒暢
