H.Shimizu: "Low Temperature and Large-Are a Deposition of 3C-SiC on Si by AC Plasma-Assisted CVD." Proceedings of the 6th International Conference on Silicon Carbide and Related Materials-1995. (to be publish). (1996)
H.Shimizu: "Low Temperature and Large-Are a Deposition of 3C-SiC on Si by AC Plasma-Assisted CVD." Proceedings of the 6th International Conference on Silicon Carbide and Related Materials-1995. (to be publish). (1996)
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H.Shimizu：“通过 AC 等离子体辅助 CVD 在 Si 上低温大面积沉积 3C-SiC。”
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