Evaporation Rate Affected by Current Density and Number of Vacuum Arc Cathode Spot

Evaporation Rate Affected by Current Density and Number of Vacuum Arc Cathode Spot
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电流密度和真空电弧阴极点数量对蒸发率的影响

DOI:
10.1541/ieejpes.136.755
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发表时间:
2016
影响因子:
--
通讯作者:
Y. Ehara
Y. Ehara
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Shinji Yamamoto;T. Iwao;Y. Ehara

文献摘要

参考文献

被引文献

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DOI: --
发表时间: 2004
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DOI: --
发表时间: 2002
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DOI: 10.1016/s0040-6090(02)00032-9
发表时间: 2002-03
期刊: Thin Solid Films
影响因子: 2.1
作者:
K. Takeda;S. Takeuchi
通讯作者: K. Takeda;S. Takeuchi