Interfacial Analysis of Arsenic Ion-Implanted Germanium Isotopic Multilayer Structures Studied by Atom Probe Tomography
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原子探针断层扫描研究砷离子注入锗同位素多层结构的界面分析
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他5名
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yasuo Shimizu;Hiroshi Takamizawa;Yoko Kawamura;Masashi Uematsu;他5名
