マルチキャビティ型Si/SiOx多層膜フィルタの作製
マルチキャビティ型Si/SiOx多層膜フィルタの作製
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多腔Si/SiOx多层滤波器的制作
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
依田秀彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
サナテムウォンビライ;依田秀彦
