エアロゾルデポジション法によるアルミナ膜形成に及ぼす超音波印加の影響
エアロゾルデポジション法によるアルミナ膜形成に及ぼす超音波印加の影響
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超声对气溶胶沉积法形成氧化铝膜的影响
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
北岡諭
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田中誠;川島直樹;北岡諭
