Growth characteristics of ZnO thin films produced via catalytic reaction-assisted chemical vapor deposition
Growth characteristics of ZnO thin films produced via catalytic reaction-assisted chemical vapor deposition
复制标题
催化反应辅助化学气相沉积ZnO薄膜的生长特性
DOI：
10.1116/1.5079526
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发表时间：
2019
影响因子：
2.9
通讯作者：
K. Yasui
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Saito;R. Iba;S. Ono;G. Imada;K. Yasui
