Synthesis of Carbon nanotubes using rf inductive coupling plasma-enhanced chemical vapor deposition
Synthesis of Carbon nanotubes using rf inductive coupling plasma-enhanced chemical vapor deposition
复制标题
采用射频感应耦合等离子体增强化学气相沉积法合成碳纳米管
DOI：
--
复制
发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
T.Kobayashi
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
H.Shirai;T.Kikuchi;T.Kobayashi
